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陶瓷製品

由氧化鋁陶瓷或碳化矽等材料製成，能滿足半導體製造過程中對高潔淨度、平穩性、高精度、高效率、高可靠性之要求。

產品應用

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陶瓷手臂，用於傳輸矽晶圓片

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